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美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05

美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05

型號:s02 s03 s05 類別: 潔凈室檢測儀器 品牌:美國PMS pdf資料: 美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05.pdf
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美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05產(chǎn)品介紹:

LiQuilaz® II 系列液體粒子計數(shù)器是體積式粒子計數(shù)器,有不同的靈敏度,高靈敏度的粒子計數(shù)器可監(jiān)測小至0.2um的粒子。她們?yōu)榇蠖鄶?shù)工藝化學(xué)品提供高精密分析,例如氫氟酸和高達(dá)306°F (150 °C)的熱腐蝕劑。LiQuilaz II 粒子計數(shù)器的測量結(jié)果具有準(zhǔn)確性、可靠性和重復(fù)性,深受客戶信任。 LiQuilaz II 粒子計數(shù)器具有RS-485和以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)通信功能,新功能提高了監(jiān)測的靈活性,而且使安裝變得更加簡單。體積式粒子計數(shù)器通過監(jiān)測100%采樣體積(多達(dá)80 毫升/分)提供高精確度的結(jié)果,所以短時間采樣的數(shù)據(jù)結(jié)果也具有統(tǒng)計意義。

靈敏度:
  • S02: 0.2 - 2.0 µm, 
  • S03: 0.3 - 3.0 µm,
  • S05: 0.5 - 20.0 µm
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美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05產(chǎn)品特點:

1、0.3 -3.0μm大小區(qū)間,流量是80 ± 10% 毫升/分鐘
 
2、支持廣泛的應(yīng)用和流體,和不同管道標(biāo)準(zhǔn)兼容,嵌入、批次采樣能力,RS-485網(wǎng)絡(luò)兼容
 
3、操作簡易,體積小巧,可以輕松安裝在制程的任何位置
 
4、用戶可選擇的粒子大小范圍
 
5、實時表征和分析粒子污染,對粒子污染的反應(yīng)速度快,全量監(jiān)測,具有更高的監(jiān)測精確度,適用于更嚴(yán)格的制程控制
 
7、可選購的軟件具有報警設(shè)置、狀態(tài)顯示、采樣設(shè)置、在線支持等功能,便于制程控制,配合壓縮或是注射采樣器使用
 
8、靈活的軟件為實時或檢索數(shù)據(jù)提供了許多可見的選擇

 

美國PMS LiQuilaz II液體粒子計數(shù)器, LiQuilaz II計數(shù)器s02 s03 s05產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 使用壓縮采樣進(jìn)行冒泡的化學(xué)品測量
  • 化學(xué)質(zhì)量保證
  • 工藝槽監(jiān)測
  • 去離子水監(jiān)測
  • 化學(xué)品傳輸系統(tǒng)


光刻膠監(jiān)測
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